LitografíaMetrología y Caracterización de dispositivos mediantes microscopía y caracterización eléctricaMicro y Nanofabricación de DispositivosSala Blanca ISO6 a ISO4Tecnologías para Espacio, Defensa, Seguridad, Tecnologías Cuánticas
Ensayos
EVAPORADOR DE METALES POR CAÑÓN DE ELECTRONES O SPUTTERINGLITOGRAFIA ÓPTICA SIN MÁSCARA POR LÁSER UV, Litografía UV convencional mediante insoladora
Muestras
DISPOSITIVOS BASADOS EN NUEVOS MATERIALES 2DDISPOSITIVOS FOTÓNICOSDISPOSITIVOS MICROyNANO MAGNÉTICOSDISPOSITIVOS SUPERCONDUCTORESPOLIMEROS MICRO Y NANOESTRUCTURADOS
Equipamiento
ATAQUE DE IONES REACTIVOS RIE / CRYO_ICP_RIE / PLASMAATOMIC LAYER DEPOSITION ALD TÉRMICO / PLASMA / OZONOFE-SEM y FIB de Haz Cruzado para Microscopía, Litografía E-BEAM, GIS, FIB, SEM