Resumen
The monochromator has twelve poles made of magnetic conducting material that extend parallel to optical axis. Specific potential/current are applied to the conducting material so that magnetic/electric dipolar components satisfy Wien condition. Adequate potential/current are applied to poles to create quadrupolar magnetic/electric fields that act with those fields produced by the material to correct aberration.
Reivindicaciones
1. 1. Un monocromador tipo wien concorrección de aberraciones caracterizado porque comprende:dos filtros de Wien idénticos colocados a lo largo de un eje ópticosustancialmente paralelo al eje Z y con un plano R perpendicular adicho eje con respecto al cual se disponen los dos filtrossimétricamente (plano de reflexión) . 2. 2. Monocromador, según reivindicación 1, caracterizado porque para un haz de partículas lanzado desdeel eje óptico cerca de su entrada y según diferentes ángulosacimutales, permite: 3. - formar una primera imagen en el plano dereflexión R, centrada en el eje óptico y con una mínima dispersiónen el eje X, lo cual da lugar a resoluciones en la energía del hazmuy superiores a la de otros filtros de Wien sin corrección deaberraciones 4. - formar una segunda imagen a la salida deldispositivo con una dispersión espacial sustancialmente menor queen otros filtros de Wien sin corrección de aberraciones. 5. 3. Monocromador, según reivindicaciones 1 y 2, caracterizado porque cada uno de los filtros, es unaconfiguración de conductores magnéticos capaz de producir al menosun campo dipolar eléctrico en la dirección del eje X y un campodipolar magnético en la dirección del eje Y, consistente en: 6. polos que se extienden sustancialmenteparalelos al eje óptico presentando una simetría de orden 12 entorno a dicho eje, y cuyas caras de entrada y salida se encuentranen el plano X-Y. 7. 4. Monocromador, según reivindicación anterior, caracterizado porque el radio interior de los polos varíasegún la posición que ocupan. 8. 5. Monocromador, según las reivindicacionesanteriores, caracterizado porque cada uno de los filtroscontiene las excitaciones añadidas para producir un campocuadripolar eléctrico con simetría respecto de los planosX-Z e Y-Z, y uno magnético consimetría en torno a los planos formados por los ejes X =±Y y el eje Z, siendo las lineas de campo de ambascomponentes cuadripolares perpendiculares entre sí. 9. 6. Monocromador, según reivindicacionesanteriores, caracterizado porque el diseño de los polos delos filtros contiene la modificación del radio interior de lospolos cuyo planos medios están situados en un ángulo acimutal de45°, 135°, 225° y 315° con respecto al plano X-Z.El valor δ del incremento del radio con respecto al de losrestantes polos, r0, ha de ser tal que 0.008 ≤δ/r0 ≤ 0, 016 para obtener una mejoraestimable con respecto a otros filtros sin corrección deaberraciones. 10. 7. Monocromador, según reivindicacionesanteriores, donde el filtro está caracterizado por tener unarelación δ/r0 y estar excitado con lospotenciales y las corrientes tales que anulan completamente lasaberraciones geométricas de apertura de un haz de partículascargadas, en los planos X-Z e Y-Z yminimizan, consecuentemente, dichas aberraciones en el resto delhaz. 11. 8. Un microscopio electrónicocaracterizado porque contiene: 12. - Una fuente de electrones para generar yacelerar un haz de electrones 13. - El monocromador de las reivindicaciones 1 a7.