Reivindicaciones

1. 1. Procedimiento para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos, donde un flujo pulsado dematerial (2) se dirige hacia un substrato (3) , caracterizadoporque la temperatura superficial del substrato (3) es moduladaperiódicamente a la misma frecuencia que aquella usada para el flujopulsado. 2. 2. Procedimiento para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos de acuerdo con lareivindicación 1, caracterizado porque el ancho temporalefectivo (ΔtT) de la modulación de la temperaturasuperficial del substrato (3) cumple la siguiente desigualdad: 3. vF es la frecuencia del flujopulsado; y 4. ΔtF es el ancho temporal deun pulso de flujo. 5. 3. Procedimiento para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos de acuerdo con lareivindicación 2, caracterizado porque la amplitud de lamodulación de la temperatura (ΔTs =Tmax - Tmin) superficial del substrato (3) para un ancho temporal efectivo (ΔtT) previamentefijado cumple las siguientes desigualdades: 6. \hskip3cm 7. \hskip1cm 8. Tambiente es la temperaturaambiente, normalmente 300 K; 9. kB es la constante de Boltzmann, cuyo valor es 1, 381•10- 23 J/K (8, 617•10- 5eV/K) ; 10. Fpulso es el espesor depositado encada pulso de flujo; y 11. \varepsilondifusion 12. 4. Procedimiento para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos de acuerdo con lareivindicación 2, caracterizado porque el ancho temporalefectivo (ΔtT) para una amplitud previamentefijada de modulación de la temperatura superficial del substrato (3) se obtiene a partir de la siguiente expresión: 13. 5. Sistema (1) para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos de acuerdo con elprocedimiento de cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizado porque comprende los siguientes elementos: 14. - una fuente de flujo pulsado del material (2) que se desea depositar; 15. - un substrato (3) , donde inciden los pulsos deflujo de material (2) ; 16. comprendiendo además un primer medio decalentamiento pulsado del substrato (3) , que calienta su superficiecíclicamente a la frecuencia del flujo pulsado de material (2) . 17. 6. Sistema (1) para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos de acuerdo con lareivindicación 5, caracterizado porque el primer medio decalentamiento pulsado del substrato (3) comprende un láser IR (9) acoplado a un obturador mecánico cíclico (11) . 18. 7. Sistema (1) para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos de acuerdo con lareivindicación 6, caracterizado porque el láser IR (9) es unláser de CO2. 19. 8. Sistema (1) para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos de acuerdo con lareivindicación 5, caracterizado porque el primer medio decalentamiento pulsado del substrato (3) comprende lámparas IR dedescarga. 20. 9. Sistema (1) para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos de acuerdo con cualquierade las reivindicaciones 5-8, caracterizadoporque además comprende un segundo medio de calentamiento delsubstrato (3) . 21. 10. Sistema (1) para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos de acuerdo con lareivindicación 9, caracterizado porque el segundo medio decalentamiento del sustrato (3) comprende un elemento calefactor defilamento (6) en contacto con un soporte metálico (7) acoplado encontacto térmico con el substrato (3) . 22. 11. Sistema (1) para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos de acuerdo con cualquierade las reivindicaciones 5-10, caracterizadoporque además comprende un medio de enfriamiento del substrato (3) , que acelera el enfriamiento del substrato (3) en el período de lamodulación correspondiente a la baja temperatura. 23. 12. Sistema (1) para reducir la rugosidad desuperficies no amorías de cuerpos sólidos de acuerdo con lareivindicación 11, caracterizado porque el medio deenfriamiento del substrato (3) es un criostato (5) unido a unsoporte metálico (7) acoplado en contacto térmico con el substrato (3) .