Reivindicaciones
1. 1. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, caracterizadopor estar constituido a partir de una película delgadacuyo espesor oscila entre 5 nm y 100 nm, amorfa ofinamente policristalina de compo-sición aproximada a CN0.3configurada por implantación de iones de nitrógeno (9)con pequeña energía en grafito o en carbono amorfo atemperaturas que oscilan entre 250ºC y 450ºC, encolaboración con iones de nitrógeno de poca energía cuyanitruración del carbono se realiza de acuerdo con unproceso de preparación o deposición opcionalmenterealizable depositando primero el carbono o realizando ladeposición de carbono en la nitruración de formasimultánea, partiendo en el caso de que el carbono se depositeprimero preparando la pieza o muestra (7) recubiertapreviamente de grafito o de carbono amorfo pocohidrogenado, o mejor no hidrogenado, que se nitrura porimplantación de iones de nitrógeno (9) con energíasdisminuyendo durante la nitruración desde un valor de 5 KeV hastaun valor bajo como 0,25 KeV, realizándose la nitruraciónpor implantación mediante un cañón o fuente de iones (4)configurado como un dispositivo o instrumento capacitadopara crear un plasma de un gas y posteriormente acelerarlos iones de dicho plasma mediante una diferencia depotencial eléctrico de forma tal que los iones incidansobre la muestra con la energía necesaria, realizándoseel proceso de implantación en vacío para elfuncionamiento del cañón de iones (4) y para que la muestra (7) seencuentra a alta temperatura y no se oxide siendo elvacío inicial o base del sistema de nitruración de 10-6 mby sin fugas. 2. 2. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, según la primerareivindicación, caracterizado porque el procedimiento denitruración en el cual el carbono se deposita primeropuede estar constituido en una secuencia de fluencias deiones de nitrógeno y energías correspondientes a250*1015 iones/cm2 con 5 KeV de energía. 3. 3. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, según lasanteriores reivindicaciones, caracterizado porque elprocedimiento de nitruración en el cual el carbono sedeposita primero puede estar constituido en una secuenciade fluencias de iones de nitrógeno y energíascorrespondientes a 200*1015 iones/cm2 con 2 KeV de energía. 4. 4. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, según lasanteriores reivindicaciones, caracterizado porque elprocedimiento de nitruración en el cual el carbono sedeposita primero puede estar constituido en una secuenciade fluencias de iones de nitrógeno y energíascorrespondientes a 100*1015 iones/cm2 con 1 KeV de energía. 5. 5. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, según lasanteriores reivindicaciones, caracterizado porque elprocedimiento de nitruración en el cual el carbono sedeposita primero puede estar constituido en una secuenciade fluencias de iones de nitrógeno y energíascorrespondientes a 75*1015 iones/cm2 con 750 eV de energía. 6. 6. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, según lasanteriores reivindicaciones, caracterizado porque elprocedimiento de nitruración en el cual el carbono sedeposita primero puede estar constituido en una secuenciade fluencias de iones de nitrógeno y energíascorrespondientes a 65*1015 iones/cm2 con 500 eV de energía. 7. 7. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, según lasanteriores reivindicaciones, caracterizado porque elprocedimiento de nitruración en el cual el carbono sedeposita primero puede estar constituido en una secuenciade fluencias de iones de nitrógeno y energíascorrespondientes a 40*1015 iones/cm2 con 250 eV de energía. 8. 8. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, según lasegunda, tercera, cuarta, quinta, sexta y séptimareivindicación, caracterizado porque en todos los casos el procesode nitruración realizado con la deposición de carbón enprimer lugar se realiza con un flujo o fluencia porunidad de tiempo que oscila entre 1 y 10*1015 iones/cm2/mino mayores dependiendo de la temperatura. 9. 9. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, según la primerareivindicación, caracterizado porque si el proceso denitruración se realiza con la deposición de carbono y lanitruración simultáneas, se nitrura por implantación deiones simultáneamente al proceso de deposición de lapelícula de carbono, pudiéndose realizar la deposición decarbono por técnicas convencionales de vaporación, arco,pulverización catódica, magnetrón, cañón de iones usandolos gases de metano CH4 e hidrógeno o la técnica CVD odeposición por reacción química en fase de vapor. 10. 10. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, según laprimera y novena reivindicación, caracterizado porquesimultáneamente a la deposición del carbono se bombardeala muestra (6) con iones de nitrógeno de 250 a 500 eV deenergía con un flujo de iones del orden de 1015 iones/cm2por monocapa atómica de carbono, adaptando a la velocidadde deposición de carbono y a la temperatura de la muestra(6). 11. 11. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, según laprimera, novena y décima reivindicación, caracterizadoporque cuando se efectúa la deposición de carbono y lanitruración de forma simultánea, la temperatura de lamuestra (6) puede ser sensiblemente más baja, oscilandoentre 200ºC y 350ºC. 12. 12. Recubrimiento de nitruro de carbonoaplicable para prevenir el efecto multipactor, según lasanteriores reivindicaciones, caracterizado porque conindependencia de que el carbono se deposite primero o ladeposición de carbono y la nitruración se realice deforma simultánea, si la implantación de nitrógeno no seha realizado a alta temperatura, se puede dar unposterior tratamiento térmico en atmósfera de nitrógeno.
