Resumen
Nanolayer transfer method and apparatus for carrying it out, which relates to a method for transferring a nanolayer (9) from an initial support (6) to a final substrate (14), and to an apparatus for carrying out said transfer. The method comprises a) introducing said nanoclayer (9) adhered on its underside to an initial support (6) in a liquid (13), said liquid (13) contained in a first container (8) whose interior face comprises a coating ( 11) hydrophilic and electrically charged; b) separating the nanolayer (9) from the initial support (6); and c) removing the liquid (13) until depositing the nanocoat (9) on a final substrate (14). In this way it is possible to transfer nanolayers of materials such as graphene, boron nitride, molybdenum disulfide or other two-dimensional layers without damaging them, in addition to allowing transfer to arbitrary, flexible or rigid final substrates. (Machine-translation by Google Translate, not legally binding)
Reivindicaciones
1. REIVINDICACIONES 2. 1. Procedimiento para la transferencia de una nanocapa (9) caracterizado porque 3. comprende: a.introducir dicha nanocapa (9) adherida en su cara inferior a un soporte inicial 4. (6) en un liquido (13), dicho liquido (13) contenido en un primer recipiente (8) cuya cara interior comprende un recubrimiento (11 ) hidrófilo y cargado eléctricamente; 5. b.separar la nanocapa (9) del soporte inicial (6); e.retirar el líquido (13) hasta depositar la nanocapa (9) sobre un substrato final (14). 6. 2. El procedimiento según la reivindicación 1, en el que la nanocapa (9) comprende en su cara superior una capa protectora (7) dotada de carga electrostática. 7. 3. El procedimiento según la reivindicación 2, en el que dicha capa protectora (7) se selecciona del grupo que consiste en poli(metil metacrilato), cinta adhesiva, pegamento, policarbonato y fotorresina. 8. 4. El procedimiento según cualquiera de las etapas anteriores en el que la separación de la nanocapa (9) del soporte inicial (6) en la etapa b. se produce mediante ataque químico al soporte inicial (6). 9. 5. El procedimiento según la reivindicación 4, en el que el soporte inicial (6) es un metal y se separa de la nanocapa (9) eligiendo como líquido (13) uno seleccionado del grupo que consiste en una disolución de FeCIJ, una disolución de NaOH, una disolución de HCI y una disolución de HCI con CUS04. 10. 6. El procedimiento según la reivindicación 5, en el que el soporte inicial (6) se selecciona del grupo que consiste en Cu, Ni, Ru, Pt y Al. 11. 7. El procedimiento según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que antes de la etapa c., se modifica la composición del líquido (13). 12. 8. El procedimiento según la reivindicación 7, en el que se modifica la composición del líquido (13) diluyendo con agua desionizada. 13. 9. El procedimiento según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que la nanocapa (9) es una o varias capas de un material que se selecciona del grupo formado por el grafeno, el nitruro de boro y el disulfuro de molibdeno. 14. 10. El procedimiento según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que el substrato final (14) se sumerge al principio del procedimiento. 15. 11. El procedimiento según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que la superficie del substrato final (14) se trata con un potenciador de la adhesión. 16. 12. El procedimiento según la reivindicación 11 , en el que dicho potenciador de la adhesión es 3-aminopropiltrietoxisilano. 17. 13. Aparato para la transferencia de una nanocapa (9) desde un soporte inicial (6) a un substrato final (14) que comprende un primer recipiente (8) adaptado para alojar un líquido inicial (13), comprendiendo la cara interior de dicho primer recipiente (8) un recubrimiento (11) hidrófilo y cargado eléctricamente, medios para la retirada de dicho líquido (13) y un portasubstrato (15) configurado para acoger dicho substrato final (14). 18. 14. Un aparato según la reivindicación 13, en el que dichos medios para la retirada del líquido (13), comprenden al menos una conducción conectada en un primer extremo al líquido (13) alojado en el primer recipiente (8) y en un segundo extremo a una primera bomba configurada para conducir dicho líquido (13) a un recipiente de recogida (32). 19. 15. Un aparato según la reivindicación 14, en el que dicha conducción está también conectada a una segunda bomba configurada para introducir un líquido (13) en dicho primer recipiente (8) 20. 16. Un aparato según cualquiera de las rei vindicaciones 13 a 15, en el que dicho primer recipiente (8) se encuentra dentro de un segundo recipiente (16) conectados de forma que el líquida (13) ocupa ambos recipientes y el primer extremo de los medios para la retirada del líquido (13) está conectado a dicho segundo recipiente (16). 21. 17.Un aparato según cualquiera de las reivindicaciones 13 a 16, que comprende uno o más elementos seleccionados del grupo que consiste en: 22. a. medios de control de temperatura; 23. b. un sistema sensor de distancia; 24. c. medios de control de flujo de un líquido; y 25. d. medios de secado. 26. 18. Un aparato según la reivindicación 17, que comprende medios de control conectados a uno o más de dichos elementos seleccionados del grupo que consiste en los medios de control de la temperatura, sistema sensor de distancia, medios de control de flujo de un líquido o medios de secado. 27. 19. Un aparato según cualquiera de las rei vindicaciones 13 a 18, en donde dicho primer recipiente (8) está acoplado a medios de elevación (12) configurados para generar una oquedad bajo dicho primer recipiente (8) que permita cargar un portasubstrato 28. (15) con el substrato final (14). 14 29. 20. Un substrato final (14) que comprende una nanocapa (9) fabricado según el procedimiento definido en cualquiera de las reivindicaciones 1 a 12. 30. 21 . Un substrato final (14) según la reivindicación 20, que comprende dos o más nanocapas (9) fabricadas de modo secuencial según el procedimiento definido en cualquiera de las reivindicaciones 1 a 12.
