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METHOD FOR CONTROLLING A SCANNING MICROSCOPECM Patents

Índice de la ficha

Updated at
24/07/2026
Numero publicacion
WO.2013053968.A1
Fecha publicacion
18/04/2013
Numero solicitud
WO2012ES70703
Fecha presentacion
10/10/2012

En detalle

Resumen

[0001] The invention relates to a control method having at least two control loops for a scanning microscope provided with a microlever and an actuator suitable for energizing the microlever, in which a first loop maintains as a controlled variable the oscillation amplitude of the microlever and as a manipulated variable the amplitude of the electric signal supplied to the actuator, and a second loop uses as a controlled variable the amplitude of the aforementioned electric signal and as a manipulated variable the tip-sample distance. Said procedure makes it possible to ignore changes of sign in the tip-sample interaction.

Reivindicaciones

1. REIVINDICACIONES 2. 3. 1.- Procedimiento de control con al menos dos lazos de control para un microscopio de barrido provisto de una micropalanca y un actuador adaptado para excitar la micropalanca, caracterizado porque un primer lazo mantiene como variable controlada la amplitud de oscilación de la micropalanca y como variable manipulada la amplitud de la 5 señal eléctrica introducida en el actuador y un segundo lazo usa como variable controlada amplitud de la señal eléctrica anterior y como variable manipulada la distancia punta-muestra. 4. 5. 2.-Procedimiento según la reivindicación 1 caracterizado porque la amplitud se encuentra comprendida en el rango de 0.01 nm hasta 1000 nm. 10 6. 7. 3. Procedimiento según cualquiera de las reivindicaciones anteriores caracterizado porque se proporciona un tercer lazo de control donde la frecuencia de excitación es la variable manipulada y la variable controlada es la fase del movimiento. 8. 4. Procedimiento según cualquiera de las reivindicaciones anteriores caracterizado porque se aplica a la micropalanca un potencial eléctrico con dos componentes, una alterna a una frecuencia determinada y una continua y se proporciona un cuarto lazo de control, cuya variable controlada es la amplitud del movimiento de la micropalanca a la frecuencia dada y como variable manipulada el potencial de la componente continua. 9. 10. 11. 12.

Etiquetas

Inventores
Martinez Martin DavidRuiz-Castellanos Miriam JaafarGomez Herrero JulioMartin David MartinezHerrero Julio Gomez
Solicitantes
Universidad Autónoma de Madrid
Clasificacion ipc
G01Q 60/ 34 A IG01Q 10/ 04 A IG01Q 20/ 04 A IG01Q 60/ 08 A IG01Q 60/ 30 A I
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