Logo
About usInnovation CMChallengesEuropa2iEntrepreneurshipR&D&I SearchAgentsEventsReports
en
Method of manufacturing substrates of integrated circuits based on cmos entecnology. (Machine-translation by Google Translate, not legally binding)CM Patents

Índice de la ficha

Updated at
24/07/2026
Numero publicacion
ES.2346396.A1
Fecha publicacion
14/10/2010
Numero solicitud
ES20100030475
Fecha presentacion
30/03/2010

En detalle

Resumen

Method of manufacturing substrates (1) of integrated circuits based on cmos technology comprising: - a first step of depositing a layer of insulating material (3) on at least one support (2, 6), - a second stage of modeling the layer of insulating material giving rise to at least one pit (4) in said insulating layer (3), - a third stage of depositing a semiconductor layer (5) on the pits (4) obtained in the previous stage, so that the semiconductor material fills the pits (4) completely, - a fourth stage of mechanical-chemical planarization (cmp) that removes the semiconductor layer (5), deposited in the second stage, up to the level of the upper edge of the insulating layer (3), giving rise to a substrate (1) that allows the manufacture of integrated circuits based on three-dimensional interconnected cmos technology. (Machine-translation by Google Translate, not legally binding)

Reivindicaciones

1. 1. Método de fabricación de sustratos (1) decircuitos integrados basados en tecnología CMOS caracterizadopor comprender: 2. 2. Método de fabricación circuitos integradosbasados en tecnología CMOS caracterizado por comprender lasetapas primera a cuarta de fabricación del sustrato (1) de lareivindicación 1, en las que en la primera etapa, el materialaislante (3) se deposita en al menos una oblea (2) de soporteseleccionado entre duro o blando. 3. 3. Método de fabricación según reivindicación 2caracterizado porque la oblea es una oblea de soporte duroseleccionado entre Al2O3, SiO2 o Si3N4. 4. 4. Método de fabricación según reivindicación 2caracterizado porque la oblea es una oblea de soporte blandoseleccionado entre material polimérico o compuesto orgánico. 5. 5. Método de fabricación circuitos integradosinterconexionados tridimensionalmente caracterizado porcomprender las etapas primera a cuarta de fabricación del sustrato (1) de la reivindicación 1 sobre el que se fabrica el nuevo circuitointegrado con tecnología CMOS, en las que en la primera etapa, elmaterial aislante (3) se deposita en al menos un circuito integrado (6) con tecnología CMOS.

Etiquetas

Inventores
Fuentes Iriarte Gonzalo
Solicitantes
Universidad Politécnica de Madrid
Clasificacion ipc
H10W 10/ 00 A I
Logo

Innovation CM
Challenges
Europa2i
Entrepreneurship
R&D&I Search
Agents
Events
Reports
About us
Contact
Give us your opinion
Cookies
Legal notice
Privacy

© Copyright Espacio Madrileño de Investigación e Innovación 2026