Resumen
This invention provides a moisture sensor for detecting the accumulated moisture by electronic and optical reading, comprising a solid support and a zinc nitride sheet with a thickness between 10 nm and 100 µm, wherein the zinc nitride sheet is arranged on the solid support. The invention also provides a method for preparing the moisture sensor of the invention. The sensor of the invention can be used to detect moisture in food, electronic products, medicinal products, weapons, building elements and works of art, as well as for the detection of transpiration in animals and plants.
Reivindicaciones
REIVINDICACIONES Sensor de humedad para la detección de la humedad acumulada mediante lectura electrónica y óptica, dicho sensor comprende un soporte sólido y una lámina de nitruro de cinc con un espesor comprendido entre 10 nm y 100 μηι, donde la lámina de nitruro de cinc está dispuesta sobre el soporte sólido. Sensor de humedad según la reivindicación 1 , donde el soporte sólido es rígido o flexible. Sensor de humedad según las reivindicaciones 1 o 2, donde el soporte sólido se selecciona de vidrio, cuarzo, zafiro, tereftalato de polietileno, poliamida, policarbonato, silicio, nitruro de galio, óxido de cinc, cobre, aluminio y latón. Sensor de humedad según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 3, donde el espesor de la lámina de nitruro de cinc está comprendido entre 100 nanómetros y 630 nanómetros. Sensor de humedad según las reivindicaciones 1 a 4, que además comprende dos contactos aislados de materiales metálicos dispuestos sobre la lámina de nitruro de cinc. Sensor de humedad según la reivindicación 5, donde el material metálico de los contactos aislados se selecciona de aluminio, oro, plata, platino, titanio, níquel, estaño, indio, cromo, wolframio, cobre y combinaciones de los mismos. Sensor de humedad según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 6, que además comprende un detector de voltaje, donde la lámina de nitruro de cinc está conectada eléctricamente al detector de voltaje. Sensor de humedad según cualquiera de las reivindicaciones 5 y 7, donde la lámina de nitruro de cinc está conectada eléctricamente al detector de voltaje a través de los contactos dispuestos sobre la lámina de nitruro de cinc. 9. Sensor de humedad según la reivindicación 7 u 8, donde el detector de voltaje es un divisor de voltaje o un lector de identificación por radiofrecuencia. 10. Sensor de humedad según cualquiera de las reivindicaciones 7 a 9, donde el detector de voltaje está eléctricamente conectado a un dispositivo emisor de tecnología Bluetooth para comunicación inalámbrica con un receptor externo. 1 1. Procedimiento de fabricación del sensor de humedad según se define en cualquiera de las reivindicaciones 1 a 10 que comprende: a) proporcionar un soporte sólido, y b) depositar una lámina de nitruro de cinc con un espesor comprendido entre 10 nm y 100 μηι sobre el soporte sólido de la etapa a) a presiones comprendidas entre 10<"1>y 10<"8>mbar. 12. Procedimiento según la reivindicación 1 1 donde la lámina de nitruro de cinc se deposita sobre el soporte sólido en la etapa b) por pulverización catódica en corriente alterna (RF) o por corriente continua pulsada en presencia de un plasma de nitrógeno y gases nobles. 13. Procedimiento según las reivindicaciones 11 o 12, que además comprende una etapa posterior a la etapa b) donde se depositan dos contactos aislados de materiales metálicos sobre la lámina de nitruro de cinc de la etapa b). 14. Procedimiento según la reivindicación 13, donde los dos contactos aislados de materiales metálicos se depositan sobre la lámina de nitruro de cinc de la etapa b) por pulverización catódica a presiones comprendidas entre 10<"1>y 10<"8>mbar utilizando una máscara mecánica. 15. Uso del sensor de humedad según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 10 para la detección de humedad en alimentos, productos electrónicos, fármacos, armamento, elementos de construcción y obras de arte. 16. Uso del sensor de humedad según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 10 para la detección de la transpiración en seres humanos, animales o plantas. 17. Uso del sensor de humedad según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 10 para detección de vapores de agua exhalados.
