Reivindicaciones

1. 1. Actuador electrostático para microsistemaselectromecánicos, caracterizado porque comprende: 2. - un microdispositivo (3) con una primera capametálica depositada sobre uno de sus lados para actuar como primerelectrodo (1) , disponiendo dicho primer electrodo (1) de un primercontacto (5) ; 3. - un segundo electrodo (6) a una distanciad del microdispositivo (3) y formado por material conductory dotado de un segundo contacto (7) ; 4. - una unión rectificadora (2) , entre la primeracapa metálica (1) y el material del microdispositivo (3) , encargadade generar una zona de carga espacial (11) ; 5. - un tercer contacto (8) sobre el material delmicrodispositivo (3) , estando dicho tercer contacto (8) unido alsegundo contacto (7) ; 6. - un generador de excitación (9) conectado entreel primer (5) y el segundo (7) contacto, encargado de aplicar unatensión continua para polarizar la unión rectificadora (2) y elprimer (1) y segundo (6) electrodos y aplicar una tensión variablepara generar una fuerza variable sobre el microdispositivo (3) . 7. 2. Actuador electrostático según reivindicación1, donde el microdispositivo (3) es un MEMS. 8. 3. Actuador electrostático según reivindicación2, donde el microdispositivo (3) es una micropalanca. 9. 4. Actuador electrostático según cualquiera delas reivindicaciones anteriores, donde la unión rectificadora (2) está polarizada en inversa. 10. 5. Actuador electrostático según cualquiera delas reivindicaciones 1-4, donde la uniónrectificadora (2) es una unión Schottky. 11. 6. Actuador electrostático según cualquiera delas reivindicaciones 1-4, donde la uniónrectificadora (2) es de tipo PN.