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Inductive sensor sensitive to the position based on lateral photovoltaic effect and measurement system that comprises (Machine-translation by Google Translate, not legally binding)CM Patents

Índice de la ficha

Updated at
24/07/2026
Numero publicacion
ES.2553472.A1
Fecha publicacion
09/12/2015
Numero solicitud
ES20140030876
Fecha presentacion
06/06/2014

En detalle

Resumen

A position-sensitive detector (1) based on lateral photovoltaic effect comprising a semiconductor substrate (14), an oxide layer (13), on the substrate (14), said oxide layer (13) with a thickness is described from 1 nm to 2 nm and a plurality of metal contacts (12) located on the oxide layer (13), with said contacts interconnected by a metal line (11). Said line (11) has a length at least 100 times its width, the width of the line (11) being at least 1,000 times greater than its thickness. By means of a measurement system with a laser illumination source (4), a voltmeter (6) and a processing means (7), the position on the detector (1) where the beam coming from the light source can be measured ( 4) with temporal resolution greater than 1 millisecond. (Machine-translation by Google Translate, not legally binding)

Reivindicaciones

1. 1. Detector inductivo sensible a la posición basado en efecto fotovoltaico lateral que comprende: 2. - un sustrato semiconductor (14); 3. - una capa de óxido (13), sobre el sustrato (14), dicha capa de óxido (13) con un espesor de 1 nm a 2 nm; 4. - una pluralidad de contactos metálicos (12) situados sobre la capa de óxido (13), con dichos contactos interconectados mediante una línea metálica (11) caracterizado por que dicha línea (11) tiene una longitud al menos 100 veces su ancho, siendo el ancho de la línea (11) al menos 1.000 veces mayor que su espesor. 5. 2. Detector según la reivindicación 1, caracterizado por que la línea metálica (11) tiene un ancho de 1 pm a 20 pm. 6. 3. Detector según la reivindicación 1 o 2, caracterizado por que la línea metálica (11) tiene una longitud de 100 pm a 2000 pm 7. 4. Detector según una cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizado por que la línea metálica (11) tiene un espesor de 3 nm a 25 nm. 8. 5. Detector según una cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizado por que la capa de óxido (13) es natural del sustrato. 9. 6. Detector según una cualquiera de las reivindicaciones anteriores, caracterizado por que el sustrato semiconductor (14) es silicio, la capa de óxido (13) es óxido de silicio y el metal para los contactos (12) y las líneas (11) es cobalto. 10. 7. Sistema de medida de la posición caracterizado por que comprende: 11. - un detector (1) según una cualquiera de las reivindicaciones anteriores; 12. - una fuente de iluminación láser (4) configurada para incidir un haz de luz sobre un punto del detector (1); 13. - un voltímetro (6) con dos canales con los que se acopla respectivamente con la fuente de iluminación láser (4) y con el detector (1); 14. - unos medios de procesamiento (7) configurados para medir la respuesta del detector (1) frente a la fuente de iluminación (4). 15. 8. Sistema de medida según la reivindicación 7, caracterizado por que comprende además una lente (2) para enfocar la luz del haz de láser hacia un punto del detector (1)- 16. 5 9. Sistema de medida según la reivindicación 7 o 8, caracterizado por que comprende 17. un divisor de haz (3) para reflejar parte del haz láser hacia una cámara (5). 18. 10. Sistema de medida según una cualquiera de las reivindicaciones 7 a 9, caracterizado por que, para acoplarse con los medios de procesamiento (7), 19. 10 comprende un amplificador (8,9) del voltaje producido por el detector (1). 20. 11. Sistema de medida según una cualquiera de las reivindicaciones 7 a 10, caracterizado por que el voltímetro (6) se acopla con sus dos canales con la fuente de iluminación láser (4) y con los medios de procesamiento (7), respectivamente.

Etiquetas

Inventores
Aliev Zazanski FarkhadCascales Sandoval Juan PedroMartinez Ramirez Isidoro
Solicitantes
Universidad Autónoma de Madrid
Clasificacion ipc
G01C 3/ 08 A IH01L 31/ 02 A I
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