Reivindicaciones

1. REIVINDICACIONES 2. 3. 1.- Procedimiento de control con al menos dos lazos de control para un microscopio de barrido provisto de una micropalanca y un actuador adaptado para excitar la micropalanca, caracterizado porque un primer lazo mantiene como variable controlada la amplitud de oscilación de la micropalanca y como variable manipulada la amplitud de la 5 señal eléctrica introducida en el actuador y un segundo lazo usa como variable controlada amplitud de la señal eléctrica anterior y como variable manipulada la distancia punta-muestra. 4. 5. 2.-Procedimiento según la reivindicación 1 caracterizado porque la amplitud se encuentra comprendida en el rango de 0.01 nm hasta 1000 nm. 10 6. 7. 3. Procedimiento según cualquiera de las reivindicaciones anteriores caracterizado porque se proporciona un tercer lazo de control donde la frecuencia de excitación es la variable manipulada y la variable controlada es la fase del movimiento. 8. 4. Procedimiento según cualquiera de las reivindicaciones anteriores caracterizado porque se aplica a la micropalanca un potencial eléctrico con dos componentes, una alterna a una frecuencia determinada y una continua y se proporciona un cuarto lazo de control, cuya variable controlada es la amplitud del movimiento de la micropalanca a la frecuencia dada y como variable manipulada el potencial de la componente continua. 9. 10. 11. 12.