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ELECTROSTATIC ACTUATOR FOR MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)CM Patents

Índice de la ficha

Updated at
24/07/2026
Numero publicacion
WO.2010040873.A1
Fecha publicacion
15/04/2010
Numero solicitud
WO2009ES00490
Fecha presentacion
08/10/2009

En detalle

Resumen

Electrostatic actuator for microelectromechanical systems that uses induced charge build-ups as amplifiers of the electrostatic energy present on said devices without such build-ups where the space-charge regions are between, at least, two electrodes (1,6) configured such that said charge regions may be modulated by the voltage applied between said electrodes (1,6); and where it includes a rectifying junction (2) between the metallization of the first electrode (1) and the material of the microdevice (3); and where an ohmic contact (8) on the material of the device and the contact (1) of the metallization, makes it possible to polarize the rectifying junction (2) and modulate its charge region; all such that connecting the ohmic contact (8) to the electrode (6) via the contact (7) causes the electrostatic interaction between the electrode (6) and the charge region of the junction (2).

Reivindicaciones

1. 1. Actuador electrostático para microsistemaselectromecánicos, caracterizado porque comprende: 2. - un microdispositivo (3) con una primera capametálica depositada sobre uno de sus lados para actuar como primerelectrodo (1) , disponiendo dicho primer electrodo (1) de un primercontacto (5) ; 3. - un segundo electrodo (6) a una distanciad del microdispositivo (3) y formado por material conductory dotado de un segundo contacto (7) ; 4. - una unión rectificadora (2) , entre la primeracapa metálica (1) y el material del microdispositivo (3) , encargadade generar una zona de carga espacial (11) ; 5. - un tercer contacto (8) sobre el material delmicrodispositivo (3) , estando dicho tercer contacto (8) unido alsegundo contacto (7) ; 6. - un generador de excitación (9) conectado entreel primer (5) y el segundo (7) contacto, encargado de aplicar unatensión continua para polarizar la unión rectificadora (2) y elprimer (1) y segundo (6) electrodos y aplicar una tensión variablepara generar una fuerza variable sobre el microdispositivo (3) . 7. 2. Actuador electrostático según reivindicación1, donde el microdispositivo (3) es un MEMS. 8. 3. Actuador electrostático según reivindicación2, donde el microdispositivo (3) es una micropalanca. 9. 4. Actuador electrostático según cualquiera delas reivindicaciones anteriores, donde la unión rectificadora (2) está polarizada en inversa. 10. 5. Actuador electrostático según cualquiera delas reivindicaciones 1-4, donde la uniónrectificadora (2) es una unión Schottky. 11. 6. Actuador electrostático según cualquiera delas reivindicaciones 1-4, donde la uniónrectificadora (2) es de tipo PN.

Etiquetas

Inventores
Izpura Torres Jose IgnacioMalo Gomez JavierIborra Grau Enrique
Solicitantes
Universidad Politécnica de MadridIzpura Torres Jose IgnacioMalo Gomez JavierIborra Grau Enrique
Clasificacion ipc
B81B 3/ 00 A IH03H 9/ 125 A I
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