Reivindicaciones

1. 1. Procedimiento para la obtención de recubrimientos antimultipactoraplicables a guías de onda de radiofrecuencia caracterizado porrealizarse con una fuente de cañón de electrones de 4KV DC y 100 mA, conla necesaria asistencia simultánea de iones inertes de argón de 0.25mA/cm2 y 200 eV de energía cinética, en atmósfera de nitrógeno a 3 x10-4 Torr y una velocidad de depósito de 40 Å/minuto, con unapresión base de 4 x 10-8 Torr y una presión de depósito de 3 x10-4 Torr a 4.5 x 10-4 Torr, encontrándose en substrato a100ºC. 2. 2. Procedimiento para la obtención de recubrimientos antimultipactoraplicables a guías de onda de radiofrecuencia, según primerareivindicación, caracterizado por proporcionar un recubrimiento cuyoanálisis superficial posee un 22.4de Ti, un 24.4 de N, un 36.5 de O y un16.7 de C después de 22 días de exposición al aire, poseyendo unaestructura cristalina en la que se distinguen fases de Ti metálico,nitrurado y oxidado, observándose Ti metálico, de sistema hexagonal conreflexiones según los planos [1 0 1] y [0 0 2], TiN, de sistema cúbicocon reflexiones según planos [1 1 1] y [2 0 0], TiO, de sistemamonoclínico con reflexiones según planos [-1 3 1], [1 0 2],[1 4 0]y [3 1 1], Ti3O5, de sistema monoclínico con reflexiones segúnplanos [2 0 1] y [3 0 2], Ti4O7, de sistema triclínico conreflexiones según planos [-1 0 2], [1 -2 2], [2 0 0], [0 -2 4] y[0 -32], estando dotada de una morfología superficial plana con un tamaño degrano medio de 1000Å, con una potencia umbral multipactor de 14.8 kW y una emisiónsecundaria de E1 = 134 eV ys m = 1.15 después de 22 días deexposición al aire.