Resumen
System for the manufacture of multilayers for solar cells and procedure for the manufacture of these. System for the manufacture of multilayers for solar cells for the manufacture of cdte solar cells by means of a sublimation procedure in a reduced space. It comprises a central chamber (1) inside which an upper heating device (5) in which the substrate material of the solar cell is disposed, lower heating devices (6) in which there is dispose the materials intended to source the solar cell layers and shutters on the lower heating devices (6) to control the deposition of the source material in the substrate. Additionally it comprises a mechanism for vertical movement of the heating devices (5, 6) that allows its approach, and a mechanism of horizontal movement of the upper heating device (5) that allows its horizontal movement under vacuum conditions of the central chamber ( 1). (Machine-translation by Google Translate, not legally binding)
Reivindicaciones
1. REIVINDICACIONES 2. 1.-Sistema para la fabricación de multicapas para células solares destinado a la fabricación de células solares de CdTe mediante un procedimiento de sublimación en espacio reducido, en el que se emplea un material de sustrato y al menos un material fuente para las capas, caracterizado por que comprende una cámara central (1) con unas bridas laterales (1.3) destinadas a unirse con un equipo de vacío, y en el interior de la cámara central (1) se disponen: 3. - un dispositivo de calentamiento superior (5) y que comprende una barquilla (5.9) en la 4. que se dispone el material destinado a sustrato de la célula solar y una placa de 5. sujeción de la barquilla (5.4), que permite sujetar el substrato a la barquilla (5.9) y 6. evitar que el material fuente se deposite en los bordes del substrato, 7. - unos dispositivos de calentamiento inferiores (6), que comprenden unas barquillas 8. (5.9), en las que se disponen los materiales destinados a fuente de las capas de la 9. célula solar, 10. - unos obturadores situados sobre los dispositivos de calentamiento inferiores (6) 11. destinados a controlar la deposición del material de la fuente en el sustrato, los dispositivos de calentamiento (5, 6) están conectados a elementos calefactores, y el sistema comprende adicionalmente: -un mecanismo de desplazamiento vertical de los dispositivos de calentamiento (5, 6) que permite su acercamiento, y -un mecanismo de desplazamiento horizontal del dispositivo de calentamiento superior 12. (5) que permite su movimiento horizontal en condiciones de vacío de la cámara central (1). 13. 2.-Sistema para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 1 caracterizado por que el mecanismo de desplazamiento vertical (3.5) comprende unas varillas roscadas (3.6) en las que se disponen unas luercas (3.7) sobre las que se apoya una plataforma (3.4) de forma que el giro de las tuercas (3.7) sobre las varillas roscadas (3.6) provoca el desplazamiento de la plataforma (3.4). 14. 3.-Sistema para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 1 caracterizado por que el mecanismo de desplazamiento horizontal comprende un manipulador 15. (4) de accionamiento manual conectado en su extremo con un par de cojinetes (4.1) que se deslizan a lo largo de un par de barras fijas (4.2), que se extienden a lo largo de la cámara central (1), entre posiciones enfrentadas a los dispositivos de calentamiento inferiores (6). 16. 4.-Sistema para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 1 caracterizado por que los dispositivos de calentamiento inferiores (6) están unidos a una plataforma (3.4) de los puertos inferiores (3) que se une a la cámara central (1) mediante unas varillas roscadas que permiten regular su posición en dirección vertical. 17. 5.-Sistema para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 1 caracterizado por que los elementos calefactores de los dispositivos de calentamiento (5, 6) son unas lámparas halógenas embebidas en material de grafito conductor y aislante. 18. 6.-Procedimiento para la fabricación de multicapas para células solares utilizando el sistema de las reivindicaciones 1 a 5 en el que la multicapa comprende al menos un material de sustrato sobre el que se deposita una pluralidad de materiales fuente, caracterizado por que comprende las siguientes etapas: 19. -colocar un material fuente en la barquilla (5.9) de cada uno de los dispositivos de calentamiento inferiores (6), -cerrar los obturadores para evitar la deposición del material fuente sobre el sustrato antes de alcanzar la temperatura adecuada, -colocar el material de sustrato en la barquilla (5.9) del dispositivo de calentamiento superior (5), -colocar sobre el material de sustrato la placa de sujeción de la barquilla (5.4), -conectar un equipo de vacío a través del puerto para la conexión de un equipo de bombeo (1.5) hasta alcanzar la presión adecuada para la deposición o para introducir una atmósfera controlada de gas, -desplazar el dispositivo de calentamiento superior (5) con el sistema de movimiento horizontal (4) hasta colocarlo sobre un dispositivo de calentamiento inferior (6), -calentar los dispositivos de calentamiento superior (5) y de calentamiento inferior (6) hasta la temperatura adecuada de deposición, -abrir el obturador, desplazar verticalmente los dispositivos de calentamiento (5, 6) hasta depositar el material fuente sobre el material de sustrato, -introducir gases en el interior de la cámara central (1) a través del puerto de entrada 20. y/o salida de gases (1.4) para favorecer el enfriamiento, -desplazar el dispositivo de calentamiento superior (5) hasta colocarlo sobre otro dispositivo de calentamiento inferior (6) y repetir las tres etapas anteriores, -repetir la etapa anterior hasta depositar todos los materiales fuente sobre el material 21. 5 de sustrato y retirar la multicapa del sistema. 22. 7.-Procedimiento para la fabricación de multicapas para células solares según la reivindicación 6 caracterizado por que se fabrican células de CdS/CdTe con CdCI2 como activador y la etapa de colocación del material fuente en la barquilla (5.9) de cada dispositivo de calentamiento 23. 10 inferior (6) comprende los pasos de: -colocar CdS en la barquilla (5.9) de un primer dispositivo de calentamiento inferior (6), -colocar CdTe en la barquilla (5.9) de un segundo dispositivo de calentamiento inferior (6), -colocar CdCI2 en la barquilla (5.9) de un tercer dispositivo de calentamiento inferior (6) 24. 15 destinado a realizar la activación del CdTe mediante tratamiento térmico. 25. 8.-Procedimiento para la fabricación de multicapas para células solares según la 26. reivindicación 7 caracterizado por que el orden de deposición de las capas fuente es primero 27. depositar del CdS sobre el material de sustrato, segundo depositar el CdTe sobre la capa de 28. 20 CdS y tercero despositar el CdCb sobre la capa de CdTe. 29. 9.-Procedimiento para la fabricación de multicapas para células solares según la 30. reivindicación 8 caracterizado por que el sustrato es un sustrato de vidrio sobre el que se 31. deposita un óxido conductor transparente.
