Reivindicaciones

1. 1. Procedimiento de fabricación de un sensor magnéticohíbrido de material piezoeléctrico y ferromagnético de altamagnetostricción, caracterizado porque utiliza dos técnicasdiferentes: crecimiento electrolítico de una interfase de materialno magnético, como el cobre, sobre el material piezoeléctrico yposterior pulido por el mismo método, y crecimiento pordeposición catódica del material ferromagnético sobre elmaterial piezoeléctrico. 2. 2. Procedimiento de fabricación de un sensor magnéticohíbrido piezoeléctrico y ferromagnético, según lareivindicación 1, caracterizado porque la deposición del metal omaterial no magnético que hará de interfase, se efectúa porelectrodeposición. 3. 3. Procedimiento de fabricación de un sensor magnéticohíbrido piezoeléctrico y ferromagnético, según lasreivindicaciones 1 y 2, caracterizado porque la deposición directadel metal o material no magnético se puede realizar también conpintura de plata sinterizable. 4. 4. Procedimiento de fabricación de un sensor magnéticohíbrido piezoeléctrico y ferromag- nético, según lasreivindicaciones 1 a 3, caracterizado por un pulido mecánico delmetal no magnético depositado electrolíticamente, y unposterior pulido electrolítico. 5. 5. Procedimiento de fabricación de un sensor magnéticohíbrido de material piezoeléctrico y ferromagnético de altamagnetostricción, según la reivindicación 1, caracterizadoporque el material ferromagnético se deposita por pulverizacióncatódica. 6. 6. Procedimiento de fabricación de un sensor magnéticohíbrido piezoeléctrico y ferromagnético, según lasreivindicaciones 1 y 5, caracterizado porque la deposición porpulverización catódica debe realizarse calentando el substrato yhaciendo girar la muestra durante el mismo proceso de deposición,para reducir al mínimo el campo coercitivo del ferromagnético. 7. 7. Procedimiento de fabricación de un sensor magnéticohíbrido piezoeléctrico y ferromagnético, según lasreivindicaciones 1, 2 y 5, caracterizado porque la deposición delmaterial ferromagnético, según la aplicación que se pretenday el material utilizado, puede realizarse también porelectrodeposición.