Reivindicaciones

1. 1. Dispositivo de filtrado de ondas acústicas devolumen caracterizado por comprender una pluralidad defiltros, que comprenden una pluralidad de resonadores, confrecuencias de resonancia diferentes integrados en un sustratocomún. 2. 2. Método de fabricación del dispositivo defiltrado de ondas acústicas de volumen descrito en lareivindicación 1, caracterizado por comprender: 3. 3. Método de fabricación según reivindicación 2, caracterizado porque la tercera etapa comprende la ejecuciónsecuencia) e iterativa de las siguientes subetapas hasta que sehayan depositado y definido tantas capas de material piezoeléctricocomo sean necesarias para obtener los resonadores de distintasfrecuencias de resonancia deseados: 4. 4. Método de fabricación según reivindicación 3, caracterizado porque tras la tercera etapa comprende unacuarta etapa de eliminación de todo el material usado como máscarapara los diferentes ataques químicos de grabado realizados. 5. 5. Método de fabricación según reivindicación 4, caracterizado porque tras la cuarta etapa comprende unaquinta etapa de depósito, sobre todos los resonadores, de una capametálica de espesor constante y su grabado, que constituye elelectrodo superior (7) de cada resonador de cada filtro. 6. 6. Método de fabricación según reivindicación 5, caracterizado porque tras la quinta etapa se continúa elprocedimiento como si de un solo resonador se tratara, comprendiendo las etapas de: