Resumen
Sample holder for multilayer coating by vacuum evaporation and device for multilayer coating by vacuum evaporation incorporating said sample holder. It allows multilayer coating of several substrates without interrupting the vacuum, temperature and pressure conditions of the process, selecting for each substrate the number of layers and the coating material. The sample holder (1) comprises a plate (2) with channels (3) that house the substrates and that comprise covers (9) slidable in grooves (13) to cover or discover the substrates acting on pivots (11) fixed to each channel (3). The device (15) includes a bell (5) that houses the sample holder (1), and rods (14) with an outer end to the bell with a handle (20) and an inner end with a pusher (21) that drives the pivots (11). In the bell (5) there is a carousel (17) with boats (16) where the materials for the coating are located, each one being selected in each step of the procedure. (Machine-translation by Google Translate, not legally binding)
Reivindicaciones
1. 1. Portamuestras (1) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío de al menos un sustrato, que comprende una placa (2) , caracterizado porque 5 adicionalmente comprende: 2. -una pluralidad de canales (3) dispuestos en una de las superficies de la placa, que comprenden un extremo exterior (23) abierto en el contorno exterior de la placa (2) , adaptados dichos canales (3) para alojar los sustratos a recubrir; y 3. o -sendas tapas (9) adaptadas para cubrir al menos parcialmente cada uno de los canales (3) , permitiendo dejar a cubierto o a descubierto discriminadamente los sustratos y evitar o permitir la deposición de un compuesto seleccionado sobre al menos parte de cada sustrato, donde las tapas 4. (9) son deslizables respecto de la placa (2) de manera guiada y poseen unos 5. medios de desplazamiento (11, 13) de dichas tapas (9) , dichos medios de desplazamiento (11, 13) accionables desde el exterior, para selectivamente tapar 6. o destapar parcial o totalmente a voluntad los sustratos, permitiendo obtener simultáneamente recubrimientos diferentes sobre los diferentes sustratos sin necesidad de interrumpir las condiciones de presión, temperatura y vacío del 7. o procedimiento de recubrimiento. 8. 2. Portamuestras (1) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío de acuerdo con la reivindicación 1 , caracterizado porque la placa (2) está fabricada en un material seleccionado entre aluminio y acero inoxidable. 9. 2. 10. 3. Portamuestras (1) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío de acuerdo con la reivindicación 1 , caracterizado porque la placa (2) es de forma circular. 11. 4. Portamuestras (1) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío de acuerdo con la reivindicación 1, caracterizado porque los medios de desplazamiento (11, 13) comprenden sendos pivotes (11) que sobresalen de cada tapa (9) y que están conectados a unos medios de accionamiento (14, 20, 21) exteriores desde los cuales se permite el accionamiento individualizado de las tapas (9) de cada canal (3) . 5 5. Portamuestras (1) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 1 y 4, caracterizado porque los medios de desplazamiento (11, 13) comprenden adicionalmente sendas ranuras (13) dispuestas en la superficie lateral (8) de los canales (3) , que permiten el desplazamiento guiado de las tapas (9) por el interior de dichas 1 o ranuras (13) . 6.Dispositivo (15) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío que comprende: - una campana (5) ; y 15 -un carrusel (17) dotado de navecillas (16) en las cuales se encuentran dispuestos una pluralidad de compuestos de recubrimiento, donde el carrusel (17) permite la selección consecutiva de uno de los compuestos para su depósito por evaporación en el interior de la campana (5) ; caracterizado porque comprende adicionalmente el portamuestras (1) descrito en 2 o las reivindicaciones 1 a 5, dispuesto dicho portamuestras (1) en el interior de la campana (5) y estando, dotado dicho portamuestras (1) de un movimiento de giro relativo a la campana (5) respecto a un eje vertical. 7.Dispositivo (15) para recubrimiento multicapa por evaporación en vacío de 2 5 acuerdo con la reivindicación 6, caracterizado porque la campana (5) comprende una cubierta superior (18) , donde los medios de accionamiento (14, 20, 21) comprenden sendas varillas (14) , uno de cuyos extremos sobresale de la cubierta (18) a modo de mango (20) , mientras que el otro extremo comprende un empujador (21) adaptado para, mediante giro de la varilla (18) por accionamiento 3 o del mango (20) , desplazar los pivotes (11 ) , permitiendo la apertura y cierre de las tapas (9) , cubriendo o descubriendo parcial o totalmente los sustratos a voluntad.
